tweakers.net
03 Jan '13, 12pm
Nikon begint lab voor lithografisch onderzoek: Nikon is een samenwerking aangegaan met een bedrijf uit Singapore...
Nikon is een samenwerking aangegaan met een bedrijf uit Singapore om gezamenlijk lithografieapparatuur te ontwikkelen waarmee kleinere transistors kunnen worden geproduceerd dan tot nu toe mogelijk was. In een testlab zal 193nm-lithografie worden ontwikkeld. De onderzoeksactiviteiten van Nikon en het A*STAR Institute of Microelectronics worden ondergebracht in een r&d-laboratorium. De Japanners en Singaporezen zullen samen lithografische technieken ontwikkelen om 193nm-licht te gebruiken voor halfgeleiderproductie. Daarbij zouden argonfluoride-lasers gebruikt worden voor het uitzenden van diep-ultraviolet licht om wafers te produceren. Daarbij moeten technieken als multiple patterning en zelforganisatie een rol spelen. Met de lithografische technieken moeten wafers met transistors van minder dan 20nm worden geproduceerd. De kleinste transistors die momenteel op 22nm geprod...
Full article:
http://tweakers.net/nieuws/86408/nikon-begint-lab-voor-li...